优势进口 EBARA荏原EV-S200(P/N)干式真空泵 低能耗、占地小

优势进口 EBARA荏原 EV-S20(P/N)干式真空泵 腐蚀性工艺用

优势进口 EBARA荏原EV-S50(P/N) 干式真空泵 腐蚀性工艺用

优势进口 EBARA荏原EV-S100(P/N) 干式真空泵 低能耗、占地小

优势进口 EBARA荏原EV-S200(P/N)干式真空泵 低能耗、占地小

节能、节省空间的干式真空泵

独特的转子设计和空转功能实现了高水平的节能和紧凑性。

这有助于降低运行成本。此外，还提供耐腐蚀材料选项，

可用于广泛的应用，从轻负载应用（例如负载锁和 SEM）

到腐蚀过程。

EV-S 型 为 独 立 安 装 的 罗 茨 型 干 泵，

有 着 从 轻 制 程 工 艺（如：load lock、

SEM）到腐蚀性工艺的广泛应用范围。

拥有抽气速率可变、通信功能等丰富附

加功能的同时，实现了“ 低能耗、占地小、轻量化 ”。

EV-X型

Dry Vacuum Pump

 作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，

搭载荏原特有的节能技术，采用面向自

动化工厂制造的优化模块设计，

并进一步实现了小型化和节能化。

 通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。

因同一机型能够覆盖多种工艺，

能够优化备用设备的库存，

减少用于维护和培训的人力时间，

并且能够灵活应

对未来的工艺扩展。