池田屋实业 耐高温干式真空泵EST25N用于反应副产物EBARA荏原

池田屋实业 耐高温干式真空泵EST10N 用于反应副产物EBARA荏原 

池田屋实业 耐高温干式真空泵EST25N用于反应副产物EBARA荏原 

干式真空泵可抽取大量气体，适用于反应副产物

EST型采用螺杆转子，并配备高温功能，

可使泵内的气体保持高温，

适合CVD等产生反应副产物的应用。

标准采用耐腐蚀材料，实现高抽速和大流量，

减少停机时间并提高工艺效率。

EST型采用螺杆型转子，可应对CVD等工艺副产物的生成，

并具备大流量抽气、

耐腐蚀性、抽气速率可变、

通信功能等额外功能。

特点

●可满足副产物生成的工艺

 （泵内气体可保持高温）；

●抽气速率高、流量大；

●搭载转速自动控制功能

 （自适应气体流量大小）；

●可应对腐蚀性气体

 （标配耐腐蚀性材料）；

●搭载高性能通信功能；

●先进的控制管理方式

 （数据保存功能、警报履历备份）