EBARA荏原ESA15-D轻质气体排出 大型真空腔室干式真空泵

EBARA荏原ESA15-D轻质气体排出 大型真空腔室干式真空泵

可排出氢气等轻质气体并对大腔室进行高速排气的干式真空泵

ESA 型备有适合排出氢气等轻气体的

排气量为 1,400L/min ～ 10,000L/min 的型号，

以及适合对大型腔室进行高速排气的

排气量为 20,000L/min ～ 80,000L/min 的型号。

容量为 10,000 L/min 或更低的型号适用于轻质气体排放，

并且具有紧凑的设计和耐腐蚀材料选项。

它们是 MO-CVD 等高流量轻气体排气应用的理想选择。

大型机型虽然排气量大，

但实现了安静运行和低振动，

并且还提供有机溶剂排气选件，

使其最适用于LCD溅射设备，真空干燥工艺，大型负载锁等。

ESA型在LCD溅镀、真空干燥、

大型load-lock等需要高速抽气的场景表现出

色。具备流量自适应转速调整、

通信功能等额外功能。

特点

●适用于大型真空腔室的高速抽气场景；

●搭载转速自动控制功能（自适应泵的负荷）；

●可满足有机溶剂要求的可选配件；

●搭载高性能通信功能；

●先进的控制管理方式

 （数据保存功能、警报履历备份）。