实验室真空涡轮分子泵EMT3400MK满足联网需求荏原EBARA

实验室真空涡轮分子泵EMT3400MK满足联网需求荏原EBARA

半导体制造 真空涡轮分子泵EMT3300MK荏原EBARA池田屋

 特点

EMT型（磁悬浮轴承型）

●磁悬浮轴承；

●产品系列覆盖340～4,200L/s不同抽速区间；

●控制器集成一体化；

●可选择风冷型或水冷型（独立控制器型）；

●可选择耐高温及耐腐蚀规格；

●一系列特殊规格产品（耐副产物生成、极低振动型）；

●安装方式自由灵活；

●满足联网需求；

●符合CE、SEMI S2、NRTL认证资质。

EBT型（滚珠轴承型）

●脂润滑滚珠轴承；

●产品系列覆盖70～2,400L/s不同抽速区间；

●小型、轻量、低功耗；

●可选择集成控制器型（仅支持EBT70型、EBT240型）；

●高耐冲击性；

●可选择风冷型或水冷型（EBT70F型、EBT240F型仅限风冷）；

●安装方式自由灵活；

●满足联网需求；

●符合CE、SEMI S2、NRTL认证资质。