荏原EBARA实验室立式 涡轮分子泵EBT450F无油、启动快 池田屋
实验室真空涡轮分子泵EMT3400MK满足联网需求荏原EBARA半导体制造 真空涡轮分子泵EMT3300MK荏原EBARA池田屋实验室真空涡轮分子泵EMT3800MK满足联网需求荏原EBARA池田屋实验室真空涡轮分子泵EMT4200MK满足联网需求荏原EBARA池田屋实验室真空涡轮分子泵EBT70F满足联网需求荏原EBARA池田屋无油蒸气污染 涡轮分子泵EBT70F滚珠轴承型 荏原EBARA池田屋
实验室真空涡轮分子泵EMT3400MK满足联网需求荏原EBARA半导体制造 真空涡轮分子泵EMT3300MK荏原EBARA池田屋实验室真空涡轮分子泵EMT3800MK满足联网需求荏原EBARA池田屋实验室真空涡轮分子泵EMT4200MK满足联网需求荏原EBARA池田屋实验室真空涡轮分子泵EBT70F满足联网需求荏原EBARA池田屋无油蒸气污染 涡轮分子泵EBT70F滚珠轴承型 荏原EBARA池田屋
实验室真空涡轮分子泵EMT3400MK满足联网需求荏原EBARA
半导体制造 真空涡轮分子泵EMT3300MK荏原EBARA池田屋
实验室真空涡轮分子泵EMT3800MK满足联网需求荏原EBARA池田屋
实验室真空涡轮分子泵EMT4200MK满足联网需求荏原EBARA池田屋
实验室真空涡轮分子泵EBT70F满足联网需求荏原EBARA池田屋
无油蒸气污染 涡轮分子泵EBT70F滚珠轴承型 荏原EBARA池田屋
无油蒸气污染 涡轮分子泵EBT220F滚珠轴承型 荏原EBARA池田屋
无油立式 涡轮分子泵EBT240F用于高能加速器 荏原EBARA池田屋
无油立式 涡轮分子泵EBT350F用于高能加速器 荏原EBARA池田屋
荏原EBARA实验室立式 涡轮分子泵EBT450F无油、启动快 池田屋
特点
EMT型(磁悬浮轴承型)
●磁悬浮轴承;
●产品系列覆盖340~4,200L/s不同抽速区间;
●控制器集成一体化;
●可选择风冷型或水冷型(独立控制器型);
●可选择耐高温及耐腐蚀规格;
●一系列特殊规格产品(耐副产物生成、极低振动型);
●安装方式自由灵活;
●满足联网需求;
●符合CE、SEMI S2、NRTL认证资质。
EBT型(滚珠轴承型)
●脂润滑滚珠轴承;
●产品系列覆盖70~2,400L/s不同抽速区间;
●小型、轻量、低功耗;
●可选择集成控制器型(仅支持EBT70型、EBT240型);
●高耐冲击性;
●可选择风冷型或水冷型(EBT70F型、EBT240F型仅限风冷);
●安装方式自由灵活;
●满足联网需求;
●符合CE、SEMI S2、NRTL认证资质。