荏原EBARA真空设备集中监视系统EBANET3
荏原EBARA湿式废气处理装置G-WS型 废气处理设备荏原EBARA湿式废气处理装置G-WS1000废气处理设备荏原EBARA真空设备集中监视系统EBANET3适合低成本处理水溶性气体、节省空间的湿式废气处理装置G-WS型是一种湿式废气处理设备，能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料，并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的十多年独特副产物对策，实现了较长的维护周期。通过延长正常运行的时间，保证了
荏原EBARA湿式废气处理装置G-WS型 废气处理设备
荏原EBARA湿式废气处理装置G-WS1000废气处理设备
荏原EBARA真空设备集中监视系统EBANET3
适合低成本处理水溶性气体、节省空间的湿式废气处理装置
G-WS型是一种湿式废气处理设备，
能以低成本安装并运行。此型号不需要燃料，
并且基于荏原针对燃烧型废气设备方面积累的
十多年独特副产物对策，实现了较
长的维护周期。通过延长正常运行的时间，
保证了运行的稳定，并降低维护成本和
人力成本。此外，维护窗口开设在设备正面，
即使在Sub-Fab有限的空间中也可以
进行灵活的布局。
特点
●无需燃料，运行成本低；
●通过多种副产物对策实现较长的维护周期；
●节省维修空间的设计；
●处理对象气体：NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HCl等可在常温下处理的水溶性气体。