实验室-荏原EBARA气体处理设备TND-Single Plus-P3预清洁、燃烧功能
实验室-荏原EBARA蚀刻气体处理设备TND-Single Plus-A3低NOx、低CO的排放实验室-荏原EBARA蚀刻气体处理设备TND-Single Plus-A4低NOx、低CO的排放实验室-荏原EBARA蚀刻气体处理设备TND-Single Plus-P1低NOx、低CO的排放实验室-荏原EBARA气体处理设备TND-Single Plus-P2预清洁、燃烧功能实验室-荏原EBARA气体
实验室-荏原EBARA蚀刻气体处理设备TND-Single Plus-A3低NOx、低CO的排放
实验室-荏原EBARA蚀刻气体处理设备TND-Single Plus-A4低NOx、低CO的排放
实验室-荏原EBARA蚀刻气体处理设备TND-Single Plus-P1低NOx、低CO的排放
实验室-荏原EBARA气体处理设备TND-Single Plus-P2预清洁、燃烧功能
实验室-荏原EBARA气体处理设备TND-Single Plus-P3预清洁、燃烧功能
TND-Single型/TND-Single Plus型搭载了荏原特别研发的新型燃烧器，实现了
对包括PFCs气体在内的各种废气的高效率处理。
同时通过各种应对腐蚀性及副产
物的对策，大大延长了维护周期。
特点
●以独特的燃烧方式，实现了高效的废气处理及较少的NOX、
CO排放；
●优化能耗降低运行成本；
●强化了对腐蚀性及副产物的对策，维护周期是过去
产品的3倍以上※；
●可同时处理工艺气体和清洁气体；
●有两种机型可供选择：燃烧+湿式洗涤（Burn-Wet）
的TND-Single型；前置清洗+燃
烧+湿式洗涤（Wet-Burn-Wet）的TND-Single Plus型。
燃烧式废气处理设备通过提供低NOx和丰富的反应副产物来降低维护成本
产品介绍
TND型是燃烧式废气处理装置，采用独特的燃烧方式，
实现低NOx、低CO的排放。通过实施各种腐蚀和副产品对策，
实现了比传统产品长三倍的维护间隔，
并且低运行成本系统消耗更少的公用设施，
从而节省使用成本。该系列包括带有燃烧和水洗涤器的
TND-Single型，以及带有预清洁、
燃烧和水洗涤器的TND-Single Plus型。
即使在产生大量副产物的工序中，
也能实现低运行成本和高效率处理。