日本EBARA荏原 高浓度清洁臭氧发生器 OZC型 高浓度、高纯度、大流量
日本EBARA荏原 废气处理设备FDS型FDS100S半导体氧化膜蚀刻日本EBARA荏原 废气处理设备FDS型FDS250半导体氧化膜蚀刻日本EBARA荏原 高浓度清洁臭氧发生器 OZC型 高浓度、高纯度、大流量该设备利用热分解技术和特殊的化学吸附作用，对半导体氧化膜蚀刻等工艺中难以分解的 PFCs 气体以氟基气体进行补充，从而实现对 PFCs 气体的高效处理。 与燃烧型、加热型和等离子型的系统不
日本EBARA荏原 废气处理设备FDS型FDS100S半导体氧化膜蚀刻
日本EBARA荏原 废气处理设备FDS型FDS250半导体氧化膜蚀刻
日本EBARA荏原 高浓度清洁臭氧发生器 OZC型 高浓度、高纯度、大流量
该设备利用热分解技术和特殊的化学吸附作用，
对半导体氧化膜蚀刻等工艺中难以
分解的 PFCs 气体以氟基气体进行补充，
从而实现对 PFCs 气体的高效处理。 与燃烧
型、加热型和等离子型的系统不同，
此系统无需进行氢氟酸的废水处理，是一种环境
友好型产品。
特点
●对PFCs被分解后的含氟气体进行固定处理，无需废水处理；
●在最大进气量250L/min（双筒系统）时，
去除效率仍可达 99% 以上；
●250 L/min双筒系统：由于反应槽采用了串行流程设计，
设备的正常运行时间显著延长；
●100 L/min单筒系统：
方便与传统干式废气处理设备相互置换。